具有高稳定性大尺寸射频大气压等离子体源
l 技术特点
目前，等离子体在材料合成与开发、半导体制造以及光学镀膜行业的应用存在两大问题：第一、真空等离子体成本较高（真空腔，真空泵，压力计等）；第二、等离子体尺度不够，效率低下。本项目开发的大气压等离子体源可以完美地解决这两大问题。
上一个：非手性形状微型机器人
下一个：火灾现场侦测及灭火机器人
目前，等离子体在材料合成与开发、半导体制造以及光学镀膜行业的应用存在两大问题：第一、真空等离子体成本较高（真空腔，真空泵，压力计等）；第二、等离子体尺度不够，效率低下。本项目开发的大气压等离子体源可以完美地解决这两大问题。
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