高端纳米压印制备图形化蓝宝石衬底的研发

●原理及技术特点

高亮度、高效率蓝光LED是LED照明光源未来的市场趋势。基于图形化蓝宝石衬底生长氮化镓外延技术是制备高效率蓝光LED的必由之路。目前蓝宝石衬底已全部由平片向图形化衬底(PSS)转变。市场上PSS技术是基于微米级别的表面结构，实现20-30%的出光效率提升。为更进一步提升出光效率，纳米级别的表面结构是下一代PSS技术的发展方向。

基于200-300纳米的表面微纳结构(光子晶体)可实现70%的出光效率，提高器件亮度80%-120%，产业化LED光效达到2001m/W。同时，衬底上外延生长可缓解应力85%，大幅度减少缺陷，改善droop效应，衰减减缓约30%。