VHF-PECVD装备的开发
l 原理及技术特点
本项目所开发的甚高频CCP-PECVD系统，是当前最先进的PECVD技术。它采用甚高频40.68MHz替代了当前应用材料公司采用的射频13.56MHz作为驱动电源等离子体密度随着驱动电源频率的增加而提高9倍，反应气体的离化率大幅提高同时离子轰击衬底的能量显著降低，大大提高了成膜质量和成膜速率。该系统是平板式电容耦合放电的等离子体系统，处理的基片尺寸1.1m*1.3m ( 5代)和1.5m*1.85m ( 6代)两类尺寸，满足当前移动终端显示屏的成本最低的切割需求，也是高效异质结太阳能电池的关键核心设备。在平板显示ARRAY整体产线成本中，PECVD设备占近15-20%。在异质结太阳能电池的整体产线成本中则占30-35%。
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