高性能有机晶体管平台技术的开发
l 原理及技术特点
晶体管是半导体领域重要的基本构建单元，光在显示领域的应用，每年就有高达数千亿美元的市场。目前广泛应用的晶体管主要是基于非晶硅材料的，但由于其载流子迁移率低(0.1-1cm2/Vs)，开关速度慢，已难以满足新一代高新电子产品的要求，譬如大尺寸120Hz超高清液晶显示。同时基于多晶硅材料或金属氧化物(如IGZO)材料的晶体管，尽管其迁移率比较高(5-15 cm2/Vs)，但由于存在各种问题，如加工工艺复杂、成分复杂、均匀性差，导致价格比较昂贵。有机晶体管因材料选择厂、迁移率高(1-20cm2/Vs )、可溶液加工、成本低、轻便、可实现柔性，可以满足新型电子产品更高的要求，成为新一代晶体管技术的理想选择。
上一个：VHF-PECVD装备的开发