极端环境下基于MEMS传感器的AlGaN HEMT器件的研究
学术方面：
已发表论文15篇，其中SCI占8篇。
专利申请2篇，其中一篇已公布并处于实审阶段。
器件性能方面：
目前，基于AlGaN HEMT器件已经具备了在高于200℃下探测多种气体的能力，如氢气、氨气、二氧化氮、硫化氢等。精度达到10ppm级。
目前已在高达340℃的环境下探测出100ppm的氢气。
上一个：微型振动能量采集技术
下一个：超薄量子点色彩增强膜
学术方面：
已发表论文15篇，其中SCI占8篇。
专利申请2篇，其中一篇已公布并处于实审阶段。
器件性能方面：
目前，基于AlGaN HEMT器件已经具备了在高于200℃下探测多种气体的能力，如氢气、氨气、二氧化氮、硫化氢等。精度达到10ppm级。
目前已在高达340℃的环境下探测出100ppm的氢气。
上一个：微型振动能量采集技术
下一个：超薄量子点色彩增强膜