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高精度相移干涉仪及其产业化

l  技术原理   

在科技快速发展的浪潮中,工业化生产要求越来越高。一方面,要求生产工艺越来越好,以提高制造效率和制造质量;另一方面,在生产过程中,需要对制造出的产品做各种缺陷检测,判定产品是否达到实际应用的要求,这无疑对检测设备提出更高要求。而相移干涉仪作为一种高精度微纳量级的检测设备,已经广泛的应用于光学检测、散斑分析、三维形貌测量及形变测量等众多领域,为精密光学元器件制造、光学系统装调提供数据支持。