将氧化物半导体纳米阵列结构薄膜与MEMS工艺制作的自加热微型电极相结合,实现了高敏感和超低检测极限的微型SO2气体传感器的制备。
上一个:无线信能同传系统
下一个:节能型双稳态液晶智能窗的研究
赵长辉
杨老师: yangj39@sustech.edu.cn