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用于痕量SO2气体检测的MEMS气体传感器关键技术研究

l  技术原理   

将氧化物半导体纳米阵列结构薄膜与MEMS工艺制作的自加热微型电极相结合,实现了高敏感和超低检测极限的微型SO2气体传感器的制备。