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氮化镓气体传感器

l  技术原理   

气体传感器被应用于多种环境,在不断地更新换代中,半导体气体传感器由于其相对低廉的制造成本和优异的性能,被广泛关注。传统半导体气体传感器大多以硅作为基底,使得这些器件受到硅材料本身特性限制,如高温特性差、抗辐照能力差等。氮化镓气体传感器是基于传统氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)所制作的场效应气体传感器。它凭借氮化镓相对于硅的材料优势,以及GaN/AlGaN异质结产生的高电子迁移率,能实现硅基气体传感器所无法实现的高温气体传感器应用,填补了业界的空白。    


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